安捷伦 Mini-BA 主动式真空规是 ConvecTorr 规的高真空版本。类似 ConvecTorr 规,Mini-BA 也是将传感器和规控制电路一体化到单台设备内的自给式装置。不需要单独的控制器。这种独立式装置是需要紧凑设计或直接一体化到 PLC(可编程逻辑控制器)或计算机内的应用的理想选择。Mini-BA 的测量范围为 10 mtorr 至 2 x 10-9 torr,并且该装置可通过模拟和数字信号远程控制。输出压力读数可通过可选的 LED 显示器、1 v/10 倍程模拟信号或可选的 RS-232 或 RS-485 接口提供。此外,可使用两个 SPST 设定点进行过程控制。电子束除气为标准功能。 |