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 安捷伦真空泵
安捷伦 FRG-700/702 全量程规管
两种测量原理集成于一支紧凑的规管内 
安捷伦 FRG-700 规为全量程规,在紧凑且经济的规管内集成两种测量技术,以测量从 5 x 10-9 mbar 至大气压(3.8 x 10-9 Torr 至大气压)的工作压力和极限压力。带有一个对数模拟输出信号的单一紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。其优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号,内含金属密封的真空密封穿导件。该规管可以在比 FRG-700(法兰处最高 55℃)更高的温度(法兰处最高 150℃)下工作。
  • 两种测量技术集于一台紧凑、一体化、经济的封装中
  • 测量过程和极限压力从 5 × 10-9 mbar 至大气压(3.8 × 10-9 Torr 至大气压)
  • 一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出,可大幅降低安装、设置和集成的复杂性
  • 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制
  • 测量范围宽,从 5 x 10-9 mbar 至大气压
  • 灯丝不易毁坏
  • 优异的启动性能
  • 易于清洁
  • 规选型表

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